Өнгөрсөн жилүүдэд хэрэгжүүлсэн Chip MBE төсөл

Технологи

Молекулын цацрагийн эпитакси буюу MBE нь болор дэвсгэр дээр өндөр чанарын болор нимгэн хальс ургуулах шинэ техник юм. Хэт өндөр вакуум нөхцөлд халаалтын зуух нь шаардлагатай бүх төрлийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдээр тоноглогдсон бөгөөд уурын атомын ба молекулын цацрагийг давхцуулсны дараа үүссэн цоорхойгоор дамжуулж, нэг болор субстратын тохирох температурт шууд шахаж, молекулын цацрагийг субстратыг нэгэн зэрэг сканнердахдаа энэ нь кристал тэгшлэх давхарга дахь молекулууд эсвэл атомуудыг "өсөлт" гэсэн субстрат дээр нимгэн хальс үүсгэдэг.

MBE төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааны хувьд өндөр цэвэршилттэй, нам даралттай, хэт цэвэр шингэн азотыг тоног төхөөрөмжийн хөргөх тасалгаанд тасралтгүй, тогтвортой тээвэрлэх шаардлагатай байдаг. Ерөнхийдөө шингэн азот өгдөг сав нь 0.3MPa ба 0.8MPa хоорондох даралттай байдаг ба -196 at дахь шингэн азот нь дамжуулах хоолойгоор дамжин азот болж амархан ууршдаг. Хийн шингэний харьцаа 1: 700 орчим шингэн азотыг дамжуулах хоолойд хий болгосноор шингэн азотын урсгалын орон зайг их хэмжээгээр эзэлж, шингэн азот дамжуулах хоолойн төгсгөлд хэвийн урсгалыг бууруулна. Үүнээс гадна шингэн азот хадгалах саванд цэвэрлээгүй хог хаягдал байх магадлалтай. Шингэн азотын дамжуулах хоолойд нойтон агаар байгаа нь мөсөн шаар үүсэхэд хүргэдэг. Хэрэв эдгээр хольцыг тоног төхөөрөмжид хаявал энэ нь тоног төхөөрөмжид урьдчилан таамаглах боломжгүй гэмтэл учруулах болно.

Тиймээс гадаа хадгалах саванд байгаа шингэн азотыг тоосгүй цехийн MBE төхөөрөмжид өндөр үр ашигтай, тогтвортой, цэвэрхэн, нам даралттай, азотгүй, хольцгүй, 24 цаг тасралтгүй тээвэрлэдэг тул ийм тээврийн хяналтын систем нь шаардлага хангасан бүтээгдэхүүн.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

MBE-ийн тоног төхөөрөмжтэй тохирч байна

2005 оноос хойш HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) нь энэхүү системийг оновчтой болгож, сайжруулж, олон улсын MBE төхөөрөмж үйлдвэрлэгчидтэй хамтран ажиллаж байна. MBE-ийн тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид, түүний дотор DCA, REBER компаниуд манай компанитай хамтын ажиллагааны харилцаатай байдаг. MBA-ийн тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид, түүний дотор DCA, REBER компаниуд олон тооны төслүүд дээр хамтран ажилласан.

Riber SA нь дэлхийн хагас дамжуулагчийн судалгаа, үйлдвэрлэлийн зориулалттай молекулын цацраг туяа (MBE) бүтээгдэхүүн, холбогдох үйлчилгээг тэргүүлэгч дэлхийн ханган нийлүүлэгч юм. Riber MBE төхөөрөмж нь маш нимгэн давхаргын материалыг дэвсгэр дээр байрлуулж, маш өндөр хяналттай байдаг. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) -ийн вакуум тоног төхөөрөмжийг Riber SA тоноглогдсон байна. Хамгийн том тоног төхөөрөмж нь Riber 6000, хамгийн жижиг нь Compact 21 юм. Энэ нь сайн нөхцөлд байгаа бөгөөд хэрэглэгчид хүлээн зөвшөөрсөн болно.

DCA бол дэлхийд тэргүүлэгч исэл MBE юм. 1993 оноос хойш исэлдэлтийн техник, антиоксидант субстрат халаалт, антиоксидант эх үүсвэрийг системтэй боловсруулж ирсэн. Энэ шалтгааны улмаас олон тэргүүлэх лабораториуд DCA исэл технологийг сонгосон. Нийлмэл хагас дамжуулагч MBE системийг дэлхий даяар ашигладаг. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) -ийн VJ шингэн азотын эргэлтийн систем ба DCA-ийн олон загварын MBE төхөөрөмжүүд нь P600, R450, SGC800 гэх мэт олон төслүүдэд тохирсон туршлагатай байдаг.

tcm (2)

Гүйцэтгэлийн хүснэгт

Хятадын ШУА-ийн Шанхайн Техникийн Физикийн Институт
Хятадын Электрон Технологийн Корпорацийн 11 дэх хүрээлэн
Хятадын ШУА-ийн Хагас дамжуулагчдын хүрээлэн
Huawei
Алибаба ДАМО академи
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Бичлэгийн цаг: 5-р сарын 26-2021