Молекулын цацрагийн эпитакси буюу MBE нь болор дэвсгэр дээр өндөр чанарын болор нимгэн хальс ургуулах шинэ техник юм. Хэт өндөр вакуум нөхцөлд халаалтын зуух нь шаардлагатай бүх төрлийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдээр тоноглогдсон бөгөөд уурын атомын ба молекулын цацрагийг давхцуулсны дараа үүссэн цоорхойгоор дамжуулж, нэг болор субстратын тохирох температурт шууд шахаж, молекулын цацрагийг субстратыг нэгэн зэрэг сканнердахдаа энэ нь кристал тэгшлэх давхарга дахь молекулууд эсвэл атомуудыг "өсөлт" гэсэн субстрат дээр нимгэн хальс үүсгэдэг.

MBE төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааны хувьд өндөр цэвэршилттэй, нам даралттай, хэт цэвэр шингэн азотыг тоног төхөөрөмжийн хөргөх тасалгаанд тасралтгүй, тогтвортой тээвэрлэх шаардлагатай байдаг. Ерөнхийдөө шингэн азот өгдөг сав нь 0.3MPa ба 0.8MPa хоорондох даралттай байдаг ба -196 at дахь шингэн азот нь дамжуулах хоолойгоор дамжин азот болж амархан ууршдаг. Хийн шингэний харьцаа 1: 700 орчим шингэн азотыг дамжуулах хоолойд хий болгосноор шингэн азотын урсгалын орон зайг их хэмжээгээр эзэлж, шингэн азот дамжуулах хоолойн төгсгөлд хэвийн урсгалыг бууруулна. Үүнээс гадна шингэн азот хадгалах саванд цэвэрлээгүй хог хаягдал байх магадлалтай. Шингэн азотын дамжуулах хоолойд нойтон агаар байгаа нь мөсөн шаар үүсэхэд хүргэдэг. Хэрэв эдгээр хольцыг тоног төхөөрөмжид хаявал энэ нь тоног төхөөрөмжид урьдчилан таамаглах боломжгүй гэмтэл учруулах болно.

Тиймээс гадаа хадгалах саванд байгаа шингэн азотыг тоосгүй цехийн MBE төхөөрөмжид өндөр үр ашигтай, тогтвортой, цэвэрхэн, нам даралттай, азотгүй, хольцгүй, 24 цаг тасралтгүй тээвэрлэдэг тул ийм тээврийн хяналтын систем нь шаардлага хангасан бүтээгдэхүүн.