Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) технологийг 1950-иад онд вакуум ууршилтын технологийг ашиглан хагас дамжуулагч нимгэн хальсан материал бэлтгэх зорилгоор боловсруулсан. Хэт өндөр вакуум технологийг хөгжүүлснээр технологийн хэрэглээ нь хагас дамжуулагчийн шинжлэх ухааны салбарт өргөжсөн.
Хагас дамжуулагч материалын судалгааны сэдэл нь системийн ажиллагааг сайжруулж болох шинэ төхөөрөмжүүдийн эрэлт хэрэгцээ юм. Хариуд нь материалын шинэ технологи нь шинэ тоног төхөөрөмж, шинэ технологи үйлдвэрлэх боломжтой. Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) нь эпитаксиаль давхаргын (ихэвчлэн хагас дамжуулагч) өсөлтийн өндөр вакуум технологи юм. Энэ нь нэг талст субстратад нөлөөлж буй эх үүсвэрийн атом эсвэл молекулуудын дулааны цацрагийг ашигладаг. Уг процессын хэт өндөр вакуум шинж чанар нь шинээр ургасан хагас дамжуулагч гадаргуу дээр тусгаарлагч материалыг газар дээр нь металжуулж, ургуулах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр бохирдолгүй интерфейс бий болно.
MBE технологи
Молекулын цацрагийн эпитаксийг өндөр вакуум эсвэл хэт өндөр вакуумд (1 x 10) хийсэн.-8Па) орчин. Молекулын цацрагийн эпитаксийн хамгийн чухал тал нь түүний хуримтлалын түвшин бага байдаг бөгөөд энэ нь ихэвчлэн хальсыг цагт 3000 нм-ээс бага хурдтайгаар эпитаксиаль ургах боломжийг олгодог. Ийм бага тунадасны хэмжээ нь бусад тунадасны аргуудтай адил цэвэр ариун байдалд хүрэхийн тулд хангалттай өндөр вакуум шаарддаг.
Дээр дурдсан хэт өндөр вакуумыг хангахын тулд MBE төхөөрөмж (Knudsen cell) нь хөргөх давхаргатай бөгөөд өсөлтийн камерын хэт өндөр вакуум орчныг шингэн азотын эргэлтийн системийг ашиглан хадгалах ёстой. Шингэн азот нь төхөөрөмжийн дотоод температурыг 77 Кельвин (−196 ° C) хүртэл хөргөнө. Бага температуртай орчин нь вакуум дахь хольцын агууламжийг цаашид бууруулж, нимгэн хальсыг хуримтлуулах илүү сайн нөхцлийг бүрдүүлдэг. Иймд MBE төхөөрөмжид -196 °C шингэн азотыг тасралтгүй, тогтвортой нийлүүлэхийн тулд тусгай зориулалтын шингэн азотын хөргөлтийн эргэлтийн систем шаардлагатай.
Шингэн азотын хөргөлтийн эргэлтийн систем
Вакуум шингэн азотын хөргөлтийн эргэлтийн систем нь үндсэндээ дараахь зүйлийг агуулдаг.
● криоген сав
● үндсэн ба салаа вакуум хүрэмтэй хоолой / вакуум хүрэмтэй хоолой
● MBE тусгай фазын тусгаарлагч ба вакуум бүрээстэй яндангийн хоолой
● төрөл бүрийн вакуум хүрэмтэй хавхлагууд
● хийн шингэний хаалт
● вакуум хүрэмтэй шүүлтүүр
● динамик вакуум насосны систем
● Урьдчилан хөргөх, цэвэрлэх халаалтын систем
HL Cryogenic Equipment компани нь MBE шингэн азотын хөргөлтийн системийн эрэлт хэрэгцээг анзаарч, MBE технологид зориулагдсан MBE шингэн азотын хөргөлтийн тусгай систем, вакуум тусгаарлагчийн иж бүрдлийг амжилттай хөгжүүлэхийн тулд зохион байгуулалттай техникийн үндсэн шугамыг бий болгосон.edолон аж ахуйн нэгж, их дээд сургууль, эрдэм шинжилгээний хүрээлэнгүүдэд ашиглагдаж ирсэн хоолойн систем.
HL криоген төхөөрөмж
1992 онд байгуулагдсан HL Cryogenic Equipment нь БНХАУ-ын Chengdu Holy Cryogenic Equipment компанийн харьяа брэнд юм. HL Cryogenic Equipment нь өндөр вакуум тусгаарлагчтай криоген хоолойн систем болон холбогдох туслах төхөөрөмжийг зохион бүтээх, үйлдвэрлэх үүрэгтэй.
Дэлгэрэнгүй мэдээллийг албан ёсны вэбсайтаас авна ууwww.hlcryo.com, эсвэл имэйл хаягаар илгээнэ үүinfo@cdholy.com.
Шуудангийн цаг: 2021 оны 5-р сарын 06-ны өдөр
