Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)-ийн товч мэдээлэл
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) технологийг 1950-иад онд вакуум ууршуулах технологийг ашиглан хагас дамжуулагч нимгэн хальсан материалыг бэлтгэх зорилгоор боловсруулсан. Хэт өндөр вакуум технологи хөгжихийн хэрээр уг технологийг хагас дамжуулагч шинжлэх ухааны салбарт хэрэглэх нь өргөжсөн.
Хагас дамжуулагч материалын судалгааны сэдэл нь системийн гүйцэтгэлийг сайжруулж болох шинэ төхөөрөмжүүдийн эрэлт хэрэгцээ юм. Хариуд нь шинэ материалын технологи нь шинэ тоног төхөөрөмж, шинэ технологи гаргаж авч болно. Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) нь эпитаксиал давхаргын (ихэвчлэн хагас дамжуулагч) өсөлтийн өндөр вакуум технологи юм. Энэ нь дан талст субстратад нөлөөлж буй эх үүсвэрийн атом эсвэл молекулуудын дулааны цацрагийг ашигладаг. Энэ процессын хэт өндөр вакуум шинж чанарууд нь шинээр ургуулсан хагас дамжуулагч гадаргуу дээр тусгаарлагч материалыг in situ металлжуулах, ургуулах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр бохирдолгүй интерфейс бий болдог.
MBE технологи
Молекулын цацрагийн эпитакси нь өндөр вакуум эсвэл хэт өндөр вакуумд (1 x 10) хийгдсэн.-8Па) орчин. Молекулын цацрагийн эпитаксигийн хамгийн чухал тал нь түүний тунадасжилтын бага хурд бөгөөд энэ нь ихэвчлэн хальсыг цагт 3000 нм-ээс бага хурдтайгаар эпитаксиаль ургах боломжийг олгодог. Ийм бага тунадасжилтын хурд нь бусад тунадасжуулалтын аргуудтай адил цэвэр байдлын түвшинд хүрэхийн тулд хангалттай өндөр вакуум шаарддаг.
Дээр дурдсан хэт өндөр вакуумыг хангахын тулд MBE төхөөрөмж (Knudsen cell) нь хөргөлтийн давхаргатай бөгөөд өсөлтийн камерын хэт өндөр вакуум орчинг шингэн азотын эргэлтийн систем ашиглан хадгалах ёстой. Шингэн азот нь төхөөрөмжийн дотоод температурыг 77 Кельвин (−196 °C) хүртэл хөргөдөг. Бага температурын орчин нь вакуум дахь хольцын агууламжийг улам бууруулж, нимгэн хальс хуримтлагдах илүү сайн нөхцлийг бүрдүүлдэг. Тиймээс MBE тоног төхөөрөмжид -196 °C шингэн азотын тасралтгүй, тогтвортой хангамжийг хангахын тулд тусгай шингэн азотын хөргөлтийн эргэлтийн систем шаардлагатай.
Шингэн азотын хөргөлтийн эргэлтийн систем
Вакуум шингэн азотын хөргөлтийн эргэлтийн системд голчлон дараахь зүйлс орно.
● криоген сав
● гол болон салаалсан вакуум бүрхүүлтэй хоолой / вакуум бүрхүүлтэй хоолой
● MBE тусгай фазын тусгаарлагч болон вакуум бүрхүүлтэй яндангийн хоолой
● янз бүрийн вакуум бүрхүүлтэй хавхлагууд
● хий-шингэний хаалт
● вакуум бүрээстэй шүүлтүүр
● динамик вакуум насосны систем
● Урьдчилан хөргөх болон дахин халаах систем
HL Cryogenic Equipment Company нь MBE шингэн азотын хөргөлтийн системийн эрэлт хэрэгцээг анзаарч, MBE технологид зориулсан тусгай MBE шингэн азотын хөргөлтийн систем, вакуум тусгаарлагчийн иж бүрдлийг амжилттай хөгжүүлэх техникийн баазыг зохион байгуулсан.edолон аж ахуйн нэгж, их сургууль, судалгааны хүрээлэнгүүдэд ашиглагдаж ирсэн хоолойн систем.
HL криоген тоног төхөөрөмж
1992 онд байгуулагдсан HL Cryogenic Equipment нь Хятадын Chengdu Holy Cryogenic Equipment компанийн харьяа брэнд юм. HL Cryogenic Equipment нь өндөр вакуум тусгаарлагчтай криоген хоолойн систем болон холбогдох туслах тоног төхөөрөмжийг зохион бүтээх, үйлдвэрлэхэд зориулагдсан.
Дэлгэрэнгүй мэдээллийг албан ёсны вэбсайтаас авна ууwww.hlcryo.comэсвэл имэйл хаягаарinfo@cdholy.com.
Нийтэлсэн цаг: 2021 оны 5-р сарын 6
