Шингэн азотын хөргөлтийн системийг хагас дамжуулагч болон чипийн үйлдвэрлэлд өргөнөөр ашигладаг бөгөөд үүнд дараахь үйл явц орно.
- Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) технологи
- COB багцын дараах чипийн туршилт
Холбоотой бүтээгдэхүүнүүд
Вакуум тусгаарлагчтай хоолойн цуврал
Вакуум тусгаарлагчтай уян хатан хоолойн цуврал
Динамик вакуум насосны систем
Вакуум тусгаарлагчтай фазын тусгаарлагчийн цуврал
Вакуум тусгаарлагчтай хавхлагын цуврал
Шугам хоолойн системийн дэмжлэгийн тоног төхөөрөмж
Молекулын цацрагийн эпитакси
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) технологийг 1950-иад онд вакуум ууршуулах технологийг ашиглан хагас дамжуулагч нимгэн хальсан материалыг бэлтгэх зорилгоор боловсруулсан. Хэт өндөр вакуум технологи хөгжихийн хэрээр уг технологийг хагас дамжуулагч шинжлэх ухааны салбарт хэрэглэх нь өргөжсөн.
HL нь MBE шингэн азотын хөргөлтийн системийн эрэлт хэрэгцээг анзаарч, MBE технологид зориулсан тусгай MBE шингэн азотын хөргөлтийн систем, олон аж ахуйн нэгж, их дээд сургууль, судалгааны хүрээлэнгүүдэд ашиглагдаж ирсэн вакуум тусгаарлагч хоолойн системийн иж бүрдлийг амжилттай хөгжүүлэх техникийн тулгуур багана зохион байгуулсан.
Хагас дамжуулагч болон чип үйлдвэрлэлийн нийтлэг асуудлуудад дараахь зүйлс орно.
- Шингэн азотын терминал (MBE) тоног төхөөрөмжид үзүүлэх даралт. Терминал (MBE) тоног төхөөрөмжийг гэмтээхээс даралтын хэт ачааллаас урьдчилан сэргийлэх.
- Олон тооны криоген шингэний оролт ба гаралтын хяналт
- Шингэн азотын температурыг терминалын тоног төхөөрөмжид оруулах
- Криоген хийн ялгаруулалтын зохистой хэмжээ
- Үндсэн болон салбар шугамуудыг (Автоматаар) солих
- VIP-ийн даралтын тохируулга (бууруулах) ба тогтворжилт
- Савнаас гарч болзошгүй хольц болон мөсний үлдэгдлийг цэвэрлэх
- Терминалын шингэний тоног төхөөрөмжийг дүүргэх хугацаа
- Шугам хоолойг урьдчилан хөргөх
- VIP систем дэх шингэний эсэргүүцэл
- Системийн тасралтгүй ашиглалтын үед шингэн азотын алдагдлыг хянах
HL-ийн Вакуум Дулаалгатай Хоолой (VIP) нь ASME B31.3 Даралтат Хоолойн Кодын стандартын дагуу бүтээгдсэн. Үйлчлүүлэгчийн үйлдвэрийн үр ашиг, зардлын үр ашгийг хангахын тулд инженерийн туршлага, чанарын хяналтын чадвар.
ШИЙДЛҮҮД
HL Cryogenic Equipment нь хагас дамжуулагч болон чипийн үйлдвэрлэлийн шаардлага, нөхцлийг хангахын тулд хэрэглэгчдэд вакуум тусгаарлагчтай хоолойн системийг санал болгодог:
1. Чанарын удирдлагын систем: ASME B31.3 Даралтын хоолойн код.
2. Автомат удирдлагын функцтэй олон тооны криоген шингэний оролт ба гаралттай тусгай фазын тусгаарлагч нь хийн ялгаруулалт, дахин боловсруулсан шингэн азот болон шингэн азотын температурын шаардлагыг хангасан.
3. Яндангийн хангалттай, цаг тухайд нь хийгдсэн загвар нь терминалын тоног төхөөрөмж үргэлж төлөвлөсөн даралтын утга дотор ажиллахыг баталгаажуулдаг.
4. Хий-шингэний хаалтыг VI хоолойн төгсгөлд босоо VI хоолойд байрлуулсан. Хий-шингэний хаалт нь хийн битүүмжлэлийн зарчмыг ашиглан VI хоолойн төгсгөлөөс VI хоолой руу орох дулааныг хааж, системийн тасралтгүй болон завсарлагатай үйлчилгээний үед шингэн азотын алдагдлыг үр дүнтэй бууруулдаг.
5.VI Вакуум тусгаарлагч хавхлага (VIV) цувралаар удирддаг хоолой: Вакуум тусгаарлагч (хийн) унтраах хавхлага, вакуум тусгаарлагч шалгах хавхлага, вакуум тусгаарлагч зохицуулах хавхлага гэх мэт орно. Шаардлагатай бол VIP-ийг хянахын тулд янз бүрийн төрлийн VIV-ийг модульчлагдсан байдлаар нэгтгэж болно. VIV нь үйлдвэрлэгчийн VIP урьдчилсан бэлтгэлтэй нэгтгэгдсэн бөгөөд газар дээр нь дулаалга хийх шаардлагагүй. VIV-ийн битүүмжлэлийн хэсгийг амархан сольж болно. (HL нь үйлчлүүлэгчдийн тодорхойлсон криоген хавхлагын брэндийг хүлээн авч, дараа нь HL-ийн вакуум тусгаарлагч хавхлагыг үйлдвэрлэдэг. Зарим брэнд, загварын хавхлагыг вакуум тусгаарлагч хавхлага болгон хийх боломжгүй байж магадгүй.)
6. Дотор хоолойн гадаргуугийн цэвэр байдалд нэмэлт шаардлага тавигдсан тохиолдолд цэвэр байдал. Зэвэрдэггүй гангийн асгаралтыг цаашид бууруулахын тулд үйлчлүүлэгчид VIP дотор хоолой болгон BA эсвэл EP зэвэрдэггүй ган хоолойг сонгохыг зөвлөж байна.
7. Вакуум тусгаарлагч шүүлтүүр: Савнаас гарч болзошгүй бохирдол болон мөсний үлдэгдлийг цэвэрлэнэ.
8. Хэдэн өдөр ба түүнээс дээш хугацаагаар зогссон эсвэл засвар үйлчилгээ хийсний дараа криоген шингэнийг оруулахаас өмнө VI хоолой болон терминалын төхөөрөмжийг урьдчилан хөргөх нь маш чухал бөгөөд ингэснээр криоген шингэн VI хоолой болон терминалын төхөөрөмжид шууд орсны дараа мөсний шаар үүсэхээс сэргийлнэ. Урьдчилан хөргөх функцийг зураг төсөлд анхаарч үзэх хэрэгтэй. Энэ нь терминалын тоног төхөөрөмж болон хавхлага зэрэг VI хоолойн туслах тоног төхөөрөмжийг илүү сайн хамгаалдаг.
9. Динамик болон статик вакуум тусгаарлагчтай (уян хатан) хоолойн системд тохиромжтой.
10. Динамик вакуум тусгаарлагчтай (уян хатан) хоолойн систем: VI уян хатан хоолой болон/эсвэл VI хоолой, холбогч хоолой, вакуум тусгаарлагч хавхлагын систем, фазын тусгаарлагч болон динамик вакуум насосны систем (вакуум насос, соленоид хавхлага, вакуум хэмжигч гэх мэт орно)-аас бүрдэнэ. Ганц VI уян хатан хоолойн уртыг хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу өөрчилж болно.
11. Төрөл бүрийн холболтын төрлүүд: Вакуум жад холболтын (VBC) төрөл болон гагнасан холболтыг сонгож болно. VBC төрөл нь газар дээр нь дулаалга хийх шаардлагагүй.
