Шингэн азотын хөргөлтийн системийг хагас дамжуулагч ба чипний үйлдвэрлэлд өргөнөөр ашигладаг бөгөөд үүнд:
- Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) технологи
- COB багцын дараах чипийн туршилт
Холбоотой бүтээгдэхүүн
Вакуум тусгаарлагчтай хоолойн цуврал
Вакуум тусгаарлагчтай уян хатан хоолойн цуврал
Динамик вакуум насосны систем
Вакуум тусгаарлагчтай фазын тусгаарлагч цуврал
Вакуум тусгаарлагч хавхлагын цуврал
Хоолойн системийг дэмжих төхөөрөмж
Молекулын цацрагийн эпитакси
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) технологийг 1950-иад онд вакуум ууршилтын технологийг ашиглан хагас дамжуулагч нимгэн хальсан материал бэлтгэх зорилгоор боловсруулсан. Хэт өндөр вакуум технологийг хөгжүүлснээр технологийн хэрэглээ нь хагас дамжуулагчийн шинжлэх ухааны салбарт өргөжсөн.
HL нь MBE шингэн азотын хөргөлтийн системийн эрэлт хэрэгцээг анзаарч, MBE технологид зориулагдсан MBE шингэн азотын хөргөлтийн тусгай систем, вакуум дулаалгатай хоолойн иж бүрэн системийг амжилттай хөгжүүлэхийн тулд зохион байгуулалттай техникийн тулгуур ба энэ нь олон аж ахуйн нэгж, их дээд сургууль, эрдэм шинжилгээний хүрээлэнгүүдэд ашиглагдаж байна. .
Хагас дамжуулагч ба чип үйлдвэрлэлийн нийтлэг асуудлууд нь:
- Терминал (MBE) төхөөрөмжид шингэн азотын даралт. Терминал (MBE) тоног төхөөрөмжийг гэмтээхээс даралтын хэт ачааллаас урьдчилан сэргийлэх.
- Олон криоген шингэний оролт ба гаралтын хяналт
- Терминал төхөөрөмжид шингэн азотын температур
- Криоген хийн ялгаруулалтын боломжийн хэмжээ
- (Автоматаар) Үндсэн болон салбар шугамыг солих
- VIP-ийн даралтын тохируулга (багасгах) ба тогтвортой байдал
- Савнаас гарч болзошгүй хольц, мөсний үлдэгдлийг цэвэрлэх
- Шингэний терминалын төхөөрөмжийг дүүргэх хугацаа
- Дамжуулах хоолойн урьдчилсан хөргөлт
- VIP систем дэх шингэний эсэргүүцэл
- Системийн үйлчилгээ тасарсан үед шингэн азотын алдагдлыг хянах
HL-ийн вакуум тусгаарлагч хоолой (VIP) нь стандартын дагуу ASME B31.3 даралтат хоолойн кодоор бүтээгдсэн. Хэрэглэгчийн үйлдвэрийн үр ашиг, зардлын үр ашгийг хангах инженерийн туршлага, чанарын хяналтын чадвар.
ШИЙДЭЛ
HL Cryogenic Equipment нь хагас дамжуулагч ба чип үйлдвэрлэлийн шаардлага, нөхцлийг хангахын тулд хэрэглэгчдэд вакуум тусгаарлагчтай хоолойн системийг санал болгодог.
1.Чанарын удирдлагын систем: ASME B31.3 Даралтын шугам хоолойн код.
2. Автомат удирдлагын функц бүхий олон криоген шингэний оролт, гаралт бүхий тусгай фазын тусгаарлагч нь хий ялгаруулах, дахин боловсруулсан шингэн азот, шингэн азотын температурын шаардлагыг хангадаг.
3. Хангалттай, цаг тухайд нь яндангийн хийц нь терминалын төхөөрөмж үргэлж төлөвлөсөн даралтын утгын хүрээнд ажиллах баталгаа болдог.
4. VI шугам хоолойн төгсгөлд босоо VI хоолойд хий-шингэн хаалт байрлуулна. Хийн шингэн хаалт нь VI шугам хоолойн төгсгөлөөс VI хоолой руу орох дулааныг хааж, системийн тасалдалтай болон тасалдалтай үйлчилгээний үед шингэн азотын алдагдлыг үр дүнтэй бууруулах зорилгоор хийн битүүмжлэлийн зарчмыг ашигладаг.
5.Вакуум тусгаарлагч хавхлага (VIV)-ээр удирддаг VI шугам хоолой: Вакуум тусгаарлагчтай (хийн) унтраах хавхлага, вакуум тусгаарлагчтай шалгах хавхлага, вакуум тусгаарлагчтай зохицуулах хавхлага гэх мэт. Төрөл бүрийн VIV нь модульчлагдсан байж VIP-г удирдах боломжтой. шаардлагатай. VIV нь газар дээр нь тусгаарлагдсан боловсруулалт хийлгүйгээр үйлдвэрлэгчийн VIP угсармалтай нэгтгэгддэг. VIV-ийн лацыг хялбархан сольж болно. (HL нь үйлчлүүлэгчдийн тодорхойлсон криоген хавхлагын брэндийг хүлээн зөвшөөрч, дараа нь HL-ээр вакуум тусгаарлагчтай хавхлагуудыг хийдэг. Зарим брэнд, хавхлагын загварыг вакуум тусгаарлагчтай хавхлаг хийх боломжгүй байж болно.)
6.Цэвэр байдал, хэрэв дотоод хоолойн гадаргуугийн цэвэр байдалд нэмэлт шаардлага тавигдвал. Хэрэглэгчид зэвэрдэггүй ган асгаралтыг багасгахын тулд BA эсвэл EP зэвэрдэггүй ган хоолойг VIP дотоод хоолойгоор сонгохыг зөвлөж байна.
7.Вакуум тусгаарлагч шүүлтүүр: Савнаас гарч болзошгүй бохирдол болон мөсний үлдэгдлийг цэвэрлэ.
8. Хэдхэн хоног буюу түүнээс дээш хугацаагаар унтрах буюу засвар үйлчилгээ хийсний дараа криоген шингэн нь VI хоолой болон терминалын төхөөрөмжид шууд орж ирсний дараа мөсөн шаар үүсэхээс зайлсхийхийн тулд VI хоолой болон терминалын төхөөрөмжийг криоген шингэн орохоос өмнө урьдчилан хөргөх шаардлагатай. Загвар хийхдээ урьдчилан хөргөх функцийг анхаарч үзэх хэрэгтэй. Энэ нь хавхлага гэх мэт терминалын тоног төхөөрөмж болон VI Хоолойг дэмжих төхөөрөмжийг илүү сайн хамгаалдаг.
9.Динамик болон статик вакуум тусгаарлагч (уян) хоолойн системд тохирно.
10. Динамик вакуум тусгаарлагч (уян хатан) дамжуулах хоолойн систем: VI уян хоолой ба/эсвэл VI хоолой, холбогч хоолой, вакуум тусгаарлагч хавхлагын систем, фазын тусгаарлагч ба динамик вакуум насосны систем (вакуум насос, соленоид хавхлага, вакуум хавхлага гэх мэт) -ээс бүрдэнэ. ). Ганц VI уян хоолойн уртыг хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн өөрчилж болно.
11. Төрөл бүрийн холболтын төрлүүд: Вакуум Bayonet холболт (VBC) төрөл болон гагнасан холболтыг сонгож болно. VBC төрөл нь газар дээр нь тусгаарлагдсан эмчилгээ хийх шаардлагагүй.
