Технологи
Молекулын цацрагийн эпитакси буюу MBE нь болор суурь дээр өндөр чанартай нимгэн талст хальс ургуулах шинэ арга юм. Хэт өндөр вакуум нөхцөлд халаалтын зуух нь шаардлагатай бүх төрлийн эд ангиудаар тоноглогдсон бөгөөд уур үүсгэдэг. Атомын эсвэл молекулын цацраг туяаг цохисны дараа үүссэн нүхээр дамжин дан талст суурь дээр тохирох температурт шууд шахаж, молекулын цацрагийг суурь дээр сканнердах замаар молекул эсвэл атомуудыг талстыг тэгшлэх давхаргад байрлуулж, суурь дээр нимгэн хальс үүсгэх боломжтой.
MBE тоног төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааг хангахын тулд өндөр цэвэршилттэй, нам даралттай, хэт цэвэр шингэн азотыг тоног төхөөрөмжийн хөргөлтийн камерт тасралтгүй, тогтвортой тээвэрлэх шаардлагатай. Ерөнхийдөө шингэн азотоор хангадаг савны гаралтын даралт 0.3MPa-0.8MPa хооронд байдаг. -196℃ температурт шингэн азот нь дамжуулах хоолойн тээвэрлэлтийн үед азот болж амархан ууршдаг. Хий-шингэний харьцаа 1:700 орчим байдаг шингэн азотыг дамжуулах хоолойд хийжүүлсний дараа энэ нь шингэн азотын урсгалын орон зайг их хэмжээгээр эзэлж, шингэн азотын дамжуулах хоолойн төгсгөлд хэвийн урсгалыг бууруулдаг. Үүнээс гадна, шингэн азотын хадгалах саванд цэвэрлээгүй хог хаягдал байх магадлалтай. Шингэн азотын дамжуулах хоолойд нойтон агаар байгаа нь мөсний шаар үүсэхэд хүргэдэг. Хэрэв эдгээр хольцыг тоног төхөөрөмжид хаявал тоног төхөөрөмжид урьдчилан таамаглах аргагүй хохирол учруулна.
Тиймээс гадна хадгалах саванд байгаа шингэн азотыг тоосгүй цехийн MBE тоног төхөөрөмжид өндөр үр ашигтай, тогтвортой, цэвэрхэн тээвэрлэдэг бөгөөд нам даралттай, азотгүй, хольцгүй, 24 цагийн турш тасралтгүй ажилладаг тул ийм тээвэрлэлтийн хяналтын систем нь мэргэшсэн бүтээгдэхүүн юм.
Тохирох MBE тоног төхөөрөмж
2005 оноос хойш HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) нь энэхүү системийг оновчтой болгож, сайжруулж, олон улсын MBE тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчидтэй хамтран ажиллаж байна. DCA, REBER зэрэг MBE тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид манай компанитай хамтын ажиллагааны харилцаатай байдаг. DCA, REBER зэрэг MBE тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид олон тооны төслүүдэд хамтран ажилласан.
Riber SA нь хагас дамжуулагчийн судалгаа болон үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд зориулсан молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) бүтээгдэхүүн болон холбогдох үйлчилгээний дэлхийн тэргүүлэгч нийлүүлэгч юм. Riber MBE төхөөрөмж нь маш өндөр хяналттайгаар суурь дээр маш нимгэн материалын давхаргыг байрлуулж чаддаг. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO)-ийн вакуум тоног төхөөрөмж нь Riber SA-аар тоноглогдсон. Хамгийн том тоног төхөөрөмж нь Riber 6000, хамгийн жижиг нь Compact 21 юм. Энэ нь сайн нөхцөлд байгаа бөгөөд үйлчлүүлэгчдийн хүлээн зөвшөөрөгдсөн.
DCA нь дэлхийд тэргүүлэгч исэлдүүлэгч MBE юм. 1993 оноос хойш исэлдэлтийн техник, антиоксидант субстратын халаалт болон антиоксидант эх үүсвэрийг системтэйгээр хөгжүүлж ирсэн. Ийм учраас олон тэргүүлэх лабораториуд DCA исэлдэлтийн технологийг сонгосон. Нийлмэл хагас дамжуулагч MBE системийг дэлхий даяар ашигладаг. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO)-ийн VJ шингэн азотын эргэлтийн систем болон DCA-ийн олон загварын MBE тоног төхөөрөмж нь P600, R450, SGC800 гэх мэт олон төслүүдэд тохирсон туршлагатай.
Гүйцэтгэлийн хүснэгт
| Хятадын Шинжлэх Ухааны Академийн Шанхайн Техникийн Физикийн Хүрээлэн |
| Хятадын Электроник Технологийн Корпорацийн 11 дэх хүрээлэн |
| Хятадын Шинжлэх Ухааны Академийн Хагас дамжуулагчийн хүрээлэн |
| Хуавэй |
| Алибаба ДАМО Академи |
| Пауэртек Технологи ХХК |
| Дельта Электроникс ХХК |
| Сужоу Эвербрайт Фотоник |
Нийтэлсэн цаг: 2021 оны 5-р сарын 26
