Молекулын цацрагийн эпитакси буюу MBE нь болор субстрат дээр талстуудын өндөр чанартай нимгэн хальсыг ургуулахад зориулагдсан шинэ техник юм. Хэт өндөр вакуум нөхцөлд халаалтын зуух нь шаардлагатай бүх төрлийн эд ангиудыг суурилуулж, атомын болон молекулын цацрагийг нэгтгэсний дараа үүссэн нүхээр уур үүсгэдэг, нэг талст субстратын зохих температурт шууд шахаж, молекулын цацрагийг зохицуулдаг. субстратыг нэгэн зэрэг сканнердахдаа болор давхаргад байрлах молекулууд эсвэл атомуудыг субстратын "өсөлт" дээр нимгэн хальс үүсгэх боломжтой.

MBE төхөөрөмжийг хэвийн ажиллуулахын тулд өндөр цэвэршилттэй, бага даралттай, хэт цэвэр шингэн азотыг төхөөрөмжийн хөргөлтийн камерт тасралтгүй, тогтвортой тээвэрлэх шаардлагатай. Ерөнхийдөө шингэн азотоор хангадаг сав нь 0.3МПа-аас 0.8МПа гаралтын даралттай байдаг. -196℃ температурт шингэн азот нь дамжуулах хоолойн тээвэрлэлтийн явцад амархан азот болж ууршдаг. 1:700 орчим хий-шингэн харьцаатай шингэн азотыг дамжуулах хоолойд хийжүүлсний дараа энэ нь шингэн азотын урсгалын их хэмжээний орон зайг эзэлж, шингэн азотын дамжуулах хоолойн төгсгөлийн хэвийн урсгалыг бууруулдаг. Үүнээс гадна шингэн азотын агуулахын саванд цэвэрлээгүй хог хаягдал байх магадлалтай. Шингэн азотын дамжуулах хоолойд нойтон агаар байгаа нь мөсөн шаар үүсэхэд хүргэдэг. Хэрэв эдгээр хольцууд нь төхөөрөмжид хаягдвал тоног төхөөрөмжид урьдчилан таамаглах аргагүй гэмтэл учруулах болно.

Иймд гадаа агуулах саванд байгаа шингэн азотыг тоос шороогүй цехэд өндөр үр ашигтай, тогтвортой, цэвэрхэн, нам даралттай, азотгүй, хольцгүй, 24 цагийн турш тасралтгүй тээвэрлэдэг ийм тээвэрлэлтийн хяналтын систем шаардлага хангасан бүтээгдэхүүн.