Хурдан хурдацтай хөгжиж буй хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт хүрээлэн буй орчны нарийн нөхцлийг хадгалах нь өндөр чанартай үйлдвэрлэлийн процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх гол арга техник нь хөргөлтийн технологийн дэвшил, ялангуяа шингэн азот болонвакуум тусгаарлагч хоолой (VIP). Энэ блог нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэгVIPсайжруулахад MBEхэрэглээ, түүний үр ашиг, найдвартай байдлыг онцлон тэмдэглэв.
MBE дахь хөргөлтийн ач холбогдол
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)Энэ нь транзистор, лазер, нарны зай зэрэг хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийг үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай атомын давхаргыг субстрат дээр байрлуулах өндөр хяналттай арга юм. MBE-д шаардагдах өндөр нарийвчлалд хүрэхийн тулд бага температурыг тогтвортой байлгах нь чухал юм. Шингэн азотыг ихэвчлэн бага буцалгах температур -196 ° C байдаг тул тунадасжуулах явцад субстратыг шаардлагатай температурт байлгадаг тул энэ зорилгоор ихэвчлэн ашигладаг.
MBE дахь шингэн азотын үүрэг
Шингэн азот нь MBE процесст зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд дулааны хүсээгүй хэлбэлзэлгүйгээр тунадас үүсэхийг баталгаажуулдаг тогтвортой хөргөлтийн механизмыг хангадаг. Энэ тогтвортой байдал нь өндөр чанартай хагас дамжуулагч материалыг үйлдвэрлэхэд маш чухал бөгөөд температурын бага зэргийн өөрчлөлт нь атомын давхаргад согог эсвэл үл нийцэлд хүргэдэг. Шингэн азотын хэрэглээ нь MBE-д шаардагдах хэт өндөр вакуум нөхцлийг бүрдүүлэхэд тусалдаг бөгөөд бохирдлоос сэргийлж, материалын цэвэр байдлыг хангадаг.
MBE дахь вакуум тусгаарлагч хоолойн (VIP) давуу тал
Вакуум тусгаарлагч хоолой (VIP)шингэн азотыг үр ашигтай тээвэрлэх шинэ ололт юм. Эдгээр хоолойнууд нь хоёр хананы хоорондох вакуум давхаргаар бүтээгдсэн бөгөөд дулаан дамжуулалтыг мэдэгдэхүйц бууруулж, шингэн азот нь агуулахаас MBE систем рүү шилжих үед криоген температурыг хадгалж байдаг. Энэхүү загвар нь ууршилтаас болж шингэн азотын алдагдлыг багасгаж, MBE аппаратын тогтвортой, найдвартай хангамжийг хангадаг.
Үр ашиг ба зардлын үр ашиг
Ашиглаж байнаVIPinMBE програмуудхэд хэдэн давуу талыг санал болгодог. Дулааны алдагдлыг багасгаснаар шингэн азот бага шаардагдаж, үйл ажиллагааны зардлыг бууруулж, үр ашгийг дээшлүүлнэ. Үүнээс гадна тусгаарлагчийн шинж чанарVIPкриоген материалтай харьцахтай холбоотой хөлдөлт болон бусад аюулыг багасгах замаар аюулгүй ажлын орчинд хувь нэмэр оруулна.
Процессын тогтвортой байдлыг сайжруулсан
VIPнь шингэн азотыг хүрэх замдаа тогтмол температурт байлгахыг баталгаажуулдагMBE систем. Энэхүү тогтвортой байдал нь өндөр нарийвчлалтай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд шаардлагатай хатуу нөхцлийг хадгалахад чухал ач холбогдолтой юм. Температурын хэлбэлзлээс урьдчилан сэргийлж,VIPилүү жигд, гэмтэлгүй хагас дамжуулагч давхаргыг үйлдвэрлэхэд тусалдаг ба эцсийн бүтээгдэхүүний ерөнхий чанар, гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
HL криоген төхөөрөмж: Шингэн азотын эргэлтийн дэвшилтэт системээр тэргүүлэгч
HL Cryogenic Equipment Co., Ltd нь хамгийн сүүлийн үеийн технологийг боловсруулж, судалгаа хийсэнШингэн азотын тээвэрлэлтийн эргэлтийн системЭнэ нь хадгалах савнаас эхэлж, MBE тоног төхөөрөмжөөр төгсдөг. Энэхүү систем нь шингэн азотын тээвэрлэлт, хольцыг гадагшлуулах, даралтыг бууруулах, зохицуулах, азотыг гадагшлуулах, дахин боловсруулах чиг үүргийг хэрэгжүүлдэг. Бүх процессыг криоген мэдрэгчээр хянаж, PLC-ээр удирдаж, автомат болон гар ажиллагаатай горимуудын хооронд шилжих боломжтой.
Одоогийн байдлаар энэ систем нь DCA, RIBER, FERMI зэрэг тэргүүлэгч үйлдвэрлэгчдийн MBE төхөөрөмжийг тогтвортой ажиллуулж байна. -ийн нэгдэлHL криоген төхөөрөмж'дэвшилтэт систем нь шингэн азотын найдвартай, үр ашигтай хангамжийг баталгаажуулж, MBE процессын гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг улам сайжруулдаг.
Дүгнэлт
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд, ялангуяа MBE програмууд, шингэн азотын хэрэглээ болонвакуум тусгаарлагч хоолой (VIP)зайлшгүй юм.VIPхөргөлтийн системийн үр ашиг, зардлын үр ашгийг дээшлүүлэхээс гадна өндөр чанартай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд шаардагдах тогтвортой байдал, нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Дэвшилтэт хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн эрэлт хэрэгцээ өсөхийн хэрээр инноваци хийгдэж байнаVIPболовсруулсан технологи, дэвшилтэт системүүдHL криоген төхөөрөмжсалбарын хатуу шаардлагыг хангах, цаашдын дэвшлийг жолоодоход чухал үүрэг гүйцэтгэнэ.
-ийн ашиг тусыг ашиглах замаарVIPболонHL криоген төхөөрөмж'sболовсронгуйШингэн азотын тээвэрлэлтийн эргэлтийн систем, Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид өөрсдийн MBE процессууддаа илүү тогтвортой байдал, үр ашиг, аюулгүй байдалд хүрч, эцэст нь дараагийн үеийн электрон төхөөрөмжүүдийн хөгжилд хувь нэмэр оруулах боломжтой.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 6-р сарын 15
