Хурдацтай хөгжиж буй хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өндөр чанартай үйлдвэрлэлийн процессын хувьд хүрээлэн буй орчны нарийн нөхцлийг хадгалах нь чухал юм.Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн гол арга техник болох хөргөлтийн технологийн дэвшил, ялангуяа шингэн азот болон бусад зүйлсийг ашиглах замаар мэдэгдэхүйц ашиг тус хүртдэг.вакуум тусгаарлагчтай хоолой (VIP)Энэ блог нь чухал үүргийг судалдаг.VIPсайжруулах тал дээр MBEхэрэглээ, түүний үр ашиг, найдвартай байдлыг онцолдог.
MBE-д хөргөлтийн ач холбогдол
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)нь транзистор, лазер, нарны зай зэрэг хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай субстрат дээр атомын давхаргыг хуримтлуулах өндөр хяналттай арга юм. MBE-д шаардлагатай өндөр нарийвчлалд хүрэхийн тулд тогтвортой бага температурыг хадгалах нь чухал юм. Шингэн азотыг энэ зорилгоор ихэвчлэн ашигладаг, учир нь энэ нь -196°C маш бага буцалгах цэгтэй тул хуримтлуулах явцад субстратууд шаардлагатай температурт хэвээр байхыг баталгаажуулдаг.
MBE-д шингэн азотын үүрэг
Шингэн азот нь MBE процесст зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд хүсээгүй дулааны хэлбэлзэлгүйгээр тунадасжилт явагдахыг баталгаажуулдаг тогтвортой хөргөлтийн механизмыг бий болгодог. Энэхүү тогтвортой байдал нь өндөр чанартай хагас дамжуулагч материал үйлдвэрлэхэд чухал ач холбогдолтой, учир нь температурын бага зэргийн хэлбэлзэл нь атомын давхаргад согог эсвэл тогтворгүй байдалд хүргэж болзошгүй юм. Шингэн азотыг ашиглах нь MBE-д шаардлагатай хэт өндөр вакуум нөхцлийг бүрдүүлэхэд тусалдаг бөгөөд бохирдлоос урьдчилан сэргийлж, материалын цэвэр байдлыг хангадаг.
MBE дахь вакуум тусгаарлагчтай хоолойн (VIP) давуу талууд
Вакуум дулаалгатай хоолой (VIP)шингэн азотыг үр ашигтай тээвэрлэх чиглэлээр гарсан нээлт юм. Эдгээр хоолойнууд нь хоёр хананы хооронд вакуум давхаргатайгаар бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь дулаан дамжуулалтыг мэдэгдэхүйц бууруулж, хадгалах газраас MBE систем рүү шилжих үед шингэн азотын криогенийн температурыг хадгалдаг. Энэхүү загвар нь ууршилтаас үүдэлтэй шингэн азотын алдагдлыг багасгаж, MBE төхөөрөмжид тогтвортой, найдвартай хангамжийг баталгаажуулдаг.
Үр ашиг ба зардлын үр ашиг
Ашиглаж байнаVIPдоторMBE програмуудхэд хэдэн давуу талыг санал болгодог. Дулааны алдагдал буурснаар шингэн азот бага шаардагдах бөгөөд үйл ажиллагааны зардлыг бууруулж, үр ашгийг дээшлүүлнэ. Нэмж дурдахад, дулаалгын шинж чанар ньVIPкриоген материалтай харьцахтай холбоотой хөлдөх болон бусад аюулын эрсдлийг бууруулснаар ажлын аюулгүй орчинд хувь нэмэр оруулах.
Сайжруулсан процессын тогтвортой байдал
VIPшингэн азот нь аяллынхаа туршид тогтмол температурт байхыг баталгаажуулдагMBE системЭнэхүү тогтвортой байдал нь өндөр нарийвчлалтай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд шаардлагатай хатуу нөхцлийг хадгалахад чухал үүрэгтэй. Температурын хэлбэлзлээс урьдчилан сэргийлэх замаар,VIPилүү жигд, согоггүй хагас дамжуулагч давхаргыг үйлдвэрлэхэд тусалдаг бөгөөд эцсийн бүтээгдэхүүний ерөнхий чанар, гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
HL криоген тоног төхөөрөмж: Дэвшилтэт шингэн азотын эргэлтийн системээр тэргүүлэгч
HL Cryogenic Equipment Co., Ltd нь хамгийн сүүлийн үеийн технологийг боловсруулж, судалгаа хийсэн.Шингэн азотын тээвэрлэлтийн эргэлтийн системхадгалах савнаас эхэлж, MBE тоног төхөөрөмжөөр төгсдөг. Энэхүү систем нь шингэн азотын тээвэрлэлт, хольцыг зайлуулах, даралтыг бууруулах, зохицуулах, азотын зайлуулах, дахин боловсруулах функцийг гүйцэтгэдэг. Бүх үйл явцыг криоген мэдрэгч хянаж, PLC-ээр удирддаг бөгөөд энэ нь автомат болон гар ажиллагааны горимуудын хооронд шилжих боломжийг олгодог.
Одоогоор энэхүү систем нь DCA, RIBER, FERMI зэрэг тэргүүлэгч үйлдвэрлэгчдийн MBE тоног төхөөрөмжийг тогтвортой ажиллуулж байна.HL криоген тоног төхөөрөмж'Түүний дэвшилтэт систем нь шингэн азотын найдвартай, үр ашигтай хангамжийг хангаж, MBE процессын гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг улам сайжруулдаг.
Дүгнэлт
Хагас дамжуулагчийн салбарт, ялангуяа MBE програмууд, шингэн азотын хэрэглээ болонвакуум тусгаарлагчтай хоолой (VIP)зайлшгүй шаардлагатай.VIPхөргөлтийн системийн үр ашиг, зардлын үр ашгийг дээшлүүлээд зогсохгүй өндөр чанартай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд шаардлагатай тогтвортой байдал, нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Дэвшилтэт хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн эрэлт хэрэгцээ өссөөр байгаа тул инновациуд ...VIP-ын боловсруулсан технологи болон дэвшилтэт системүүдтэй адилHL криоген тоног төхөөрөмжсалбарын хатуу шаардлагыг хангах, ирээдүйн дэвшлийг урагшлуулахад чухал үүрэг гүйцэтгэнэ.
-ийн ашиг тусыг ашигласнаарVIPмөнHL криоген тоног төхөөрөмж'sнарийнШингэн азотын тээвэрлэлтийн эргэлтийн систем, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид MBE процессууддаа илүү тогтвортой байдал, үр ашиг, аюулгүй байдлыг хангаж, эцэст нь дараагийн үеийн электрон төхөөрөмжүүдийн хөгжилд хувь нэмэр оруулж чадна.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 6-р сарын 15
