Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид чиплет интеграци, эргэлдэгч чип холболт, 3D IC архитектур зэрэг дэвшилтэт сав баглаа боодлын технологи руу шилжсээр байгаа тул өндөр найдвартай криоген дэд бүтцийн хэрэгцээ урьд өмнөхөөсөө илүү чухал болж байна. Энэ орчинд системүүд ...-ийн эргэн тойронд баригдсан.HL КриогенВакуум бүрхүүлтэй хоолой, дулаалгатай хоолой, тусгаарлагч, хавхлага, хавхлагын хайрцаг нь дулааны нарийвчлал болон үйл ажиллагааны тогтвортой байдлыг хангахад үндсэн үүрэг гүйцэтгэдэг.

Өндөр нарийвчлалтай сав баглаа боодлын шугам дахь криоген хяналт

Орчин үеийн чип сав баглаа боодол, туршилт нь ихэвчлэн температурын хэт хэлбэлзэлд өртөх, ялангуяа дулааны мөчлөг, найдвартай байдлын шинжилгээ, бага температурын шинж чанарын үед өртөхийг шаарддаг. HL криогенийн үндсэн үүрэгвакуум тусгаарлагчтай хоолойнь хүрээлэн буй цэвэр өрөөний орчноос дулааныг багасгахын зэрэгцээ ихэвчлэн шингэн азот болох криоген шингэнийг хүргэх явдал юм.

Өндөр вакуум түвшин болон олон давхаргат дулаалгын дизайны ачаар HL Cryogenicвакуум бүрхүүлтэй хоолойсистем нь дулааны алдагдлыг үр дүнтэй дарангуйлж, шингэнийг хол зайд тогтвортой шингэн фазад байлгадаг. Энэ нь олон туршилтын станцуудад хөргөлтийн тогтвортой ажиллагааг хангаж, хагас дамжуулагчийн гүйцэтгэлийн өгөгдөлд нөлөөлж болзошгүй температурын хэлбэлзлийг арилгадаг.

Ядаргаанд мэдрэмтгий туршилтын орчинд температурын бага зэргийн хэлбэлзэл ч хэмжилтийн нарийвчлалд нөлөөлж болно. Тийм ч учраас илүү олон туршилтын байгууламжууд тогтвортой криоген хүргэлтийн урт хугацааны шийдэл болгон HL криоген вакуум тусгаарлагчтай хоолойн системд шилжиж байна.

Фазын тогтвортой байдлыг баталгаажуулсанФазын тусгаарлагч

Ашиглалтын явцад криоген шингэний нэг хэсэг нь орчны дулааныг шингээхдээ зайлшгүй ууршдаг. HL криогенфазын тусгаарлагччухал тоног төхөөрөмжид хүрэхээс өмнө уурыг шингэнээс ялгаж салгаснаар чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ нь зөвхөн хөргөлттэй шингэнийг мэдрэмтгий туршилтын камер болон датчик станцуудад оруулахыг баталгаажуулдаг.

Хоёр фазын урсгалаас урьдчилан сэргийлснээр HL криоген фазын тусгаарлагч нь процессын давтагдах чадварыг мэдэгдэхүйц сайжруулж, урсгалын тогтворгүй байдлаас доош чиглэсэн хяналтын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хамгаалдаг. Дэвшилтэт зангилааны технологид төхөөрөмжийн геометр агшиж, хүлцлийн цонх багасах тусам энэ нь улам бүр чухал болж байна.

Үйл ажиллагааны аюулгүй байдлыг удирддагХавхлагамөнХавхлагын хайрцаг

HL криоген вакуум бүрхүүлтэй хоолойн систем дэх криоген шингэний урсгал ба даралтыг тусгайлан зохион бүтээсэн HL криоген хавхлагуудаар зохицуулдаг. Эдгээр эд ангиудыг хэт бага температур болон хурдан дулааны шилжилтийн үед найдвартай ажиллахаар бүтээгдсэн.

Системийн аюулгүй байдал болон хүртээмжийг улам сайжруулахын тулд HL криоген хавхлага бүрийг тусгаарлагдсан HL криоген хавхлагын хайрцаг дотор байрлуулсан. Хавхлагын хайрцаг нь хавхлагыг чийг нэвчихээс хамгаалж, хөлдөлтийг бууруулж, техникчдэд хүрээлэн буй орчны дулааны тэнцвэрийг алдагдуулахгүйгээр үзлэг, тохируулга хийх боломжийг олгодог.

Энэхүү авсаархан, модульчлагдсан тохиргоо нь хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын үйлдвэрүүд болон цэвэр өрөөний орчинд түгээмэл байдаг хатуу орон зайн хязгаарлалтуудтай сайн нийцдэг.

Дэвшилтэт хагас дамжуулагч байгууламжийн ухаалаг дэд бүтцийн сонголт

Салбар нь интеграцийн нягтралыг нэмэгдүүлэх, туршилтын стандартыг илүү өндөр түвшинд байлгахыг эрмэлзэж байгаа тул криогенийн дэд бүтэц хоёрдогч асуудал байхаа больсон. HL криогенийн вакуум тусгаарлагчтай хоолойд хөрөнгө оруулалт хийдэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид, HL Cryogenicвакуум бүрхүүлтэй хоолой, тусгаарлагч, хавхлага, бахавхлагын хайрцагсистемүүд нь үр ашиг, аюулгүй байдал, урт хугацааны зардлын хяналт зэрэгт хэмжигдэхүйц давуу талыг олж авдаг.

Өрсөлдөөнт үйлдвэрлэлийн орчинд криоген сүлжээний тогтвортой байдал нь эцсийн дүнд бүтээгдэхүүний гарц, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацаа, үйл ажиллагааны тогтвортой байдалд нөлөөлж, HL криоген шийдлүүдийг хагас дамжуулагч дэд бүтцийн чухал хэсэг болгодог.