Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл удаашрахгүй байгаа бөгөөд өсөхийн хэрээр криоген түгээлтийн системд тавигдах шаардлага, ялангуяа шингэн азотын хувьд өсөн нэмэгдэж байна. Вафли процессорыг сэрүүн байлгах, литографийн машин ажиллуулах, эсвэл дэвшилтэт туршилт хийх гэх мэт эдгээр системүүд өө сэвгүй ажиллах шаардлагатай. HL Cryogenics дээр бид дулааны алдагдал, чичиргээ бараг байхгүй, тогтвортой, үр ашигтай байлгах бат бөх, найдвартай вакуум дулаалгатай шийдлүүдийг зохион бүтээхэд анхаарлаа хандуулдаг. Манай жагсаалт—Вакуум тусгаарлагчтай хоолой, Уян хатан хоолой, Динамик вакуум насосны систем, Тусгаарлагдсан хавхлага, баФазын тусгаарлагч— үндсэндээ чип үйлдвэрүүд болон судалгааны лабораториудаас эхлээд сансар судлал, эмнэлэг, шингэрүүлсэн байгалийн хийн терминалууд хүртэл бүх зүйлд зориулсан криоген хоолойн гол тулгуур болдог.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдийн дотор шингэн азот (LN₂) тасралтгүй ажилладаг. Энэ нь фотолитографийн систем, крио шахуурга, плазмын камер, цочрол шалгагч зэрэг чухал багаж хэрэгслийн температурыг тогтвортой байлгадаг. Криоген хангамжийн багахан саатал ч гэсэн үнэтэй тоног төхөөрөмжийн гарц, тогтвортой байдал эсвэл ашиглалтын хугацаанд сөргөөр нөлөөлж болзошгүй. Энэ бол биднийВакуум тусгаарлагчтай хоолойорж ирдэг: бид дулааны алдагдлыг багасгахын тулд олон давхаргат дулаалга, гүн вакуум сорогч, бат бөх тулгуур ашигладаг. Энэ нь эрэлт огцом өссөн ч гэсэн хоолойнууд дотоод нөхцөл байдлыг хатуу байлгаж, буцалгах хэмжээ нь хуучин хөөсөнцөр дулаалгатай шугамаас хамаагүй бага хэвээр байна гэсэн үг юм. Хатуу вакуум хяналт, дулааны болгоомжтой менежментийн тусламжтайгаар манай хоолойнууд LN₂-г яг хэрэгтэй үед, хэрэгтэй газарт нь хүргэдэг бөгөөд гэнэтийн зүйлгүй.
Заримдаа та системийг нугалах эсвэл сунгах шаардлагатай болдог - магадгүй багажны холболт, чичиргээнд мэдрэмтгий хэсгүүд эсвэл тоног төхөөрөмж хөдөлдөг газруудад. Энэ бол бидний хийх зүйл юм.Вакуум тусгаарлагчтай уян хатан хоолойe нь зориулагдсан. Энэ нь ижил дулааны хамгаалалтыг санал болгодог боловч өнгөлсөн Атираат зэвэрдэггүй ган, тусгал тусгаарлагч, вакуум битүүмжилсэн бүрхүүлийн ачаар хурдан нугалж, суурилуулах боломжийг олгодог. Цэвэр өрөөнд энэ хоолой нь тоосонцорыг багасгаж, чийгийг хааж, багаж хэрэгслийг байнга дахин тохируулж байсан ч тогтвортой байлгадаг. Хатуу хоолойг уян хатан хоолойтой хослуулснаар та бат бөх, дасан зохицох чадвартай системийг олж авдаг.
Криоген сүлжээг бүхэлд нь хамгийн өндөр үр ашигтай ажиллуулахын тулд бид дараахыг ашигладагДинамик вакуум насосны системЭнэ нь вакуум түвшинг хянаж, тохиргооны туршид хадгалдаг. Цаг хугацаа өнгөрөхөд вакуум тусгаарлагч нь материал болон гагнуурын ул мөр хийг байгалийн жамаар шингээдэг; хэрэв та үүнийг гулсуулбал тусгаарлагч эвдэрч, дулаан орж, та илүү их LN₂-ээр шатдаг. Манай шахуургын систем нь вакуумыг хүчтэй байлгадаг тул тусгаарлагч нь үр дүнтэй хэвээр байх бөгөөд тоног төхөөрөмж удаан хугацаанд ашиглагддаг - энэ нь өдөр шөнөгүй ажилладаг үйлдвэрүүдийн хувьд маш том давуу тал бөгөөд температурын бага зэрэг хэлбэлзэл ч үйлдвэрлэлийг тасалдуулж болзошгүй юм.
Урсгалыг нарийн хянахын тулд манай ВакуумТусгаарлагдсан хавхлагаs алхам. Бид тэдгээрийг маш бага дулаан дамжуулалттай, гелийн туршилтаар бат бөх битүүмжлэлтэй, турбулент байдал болон даралтын алдагдлыг бууруулдаг урсгалын сувгуудаар зохион бүтээдэг. Хавхлагын их бие нь бүрэн дулаалгатай тул хүйтрэл байхгүй бөгөөд та тэдгээрийг хурдан нээж, хааж байсан ч жигд ажилласаар байна. Агаарын тээврийн түлш цэнэглэх эсвэл эмнэлгийн крио эмчилгээ гэх мэт мэдрэмтгий газруудад энэ нь бохирдолгүй, чийгийн асуудалгүй гэсэн үг юм.
Манай вакуум дулаалгатайФазын тусгаарлагчурсгалын доод хэсгийн даралтыг тогтвортой байлгаж, шингэн-хийн хэлбэлзлийг зогсоодог. Энэ нь вакуум тусгаарлагчтай камерт хяналттай ууршилтыг зөвшөөрснөөр LN₂-ийн фазын тэнцвэрийг зохицуулдаг тул зөвхөн өндөр чанартай шингэн тоног төхөөрөмжид хүрдэг. Чипийн үйлдвэрүүдэд энэ нь ваферын тэгшлэлт эсвэл сийлбэрт саад учруулж болзошгүй температурын өөрчлөлтөөс сэргийлдэг. Лабораторид туршилтыг тогтвортой байлгадаг; LNG терминалуудад хүсээгүй буцалгалтыг бууруулснаар аюулгүй байдлыг нэмэгдүүлдэг.
Нэгтгэн нэгтгэснээрВакуум тусгаарлагчтай хоолой,Уян хатан хоолой,Динамик вакуум насосны систем,Тусгаарлагдсан хавхлага, баФазын тусгаарлагчHL Cryogenics нь нэг системд нэгтгэснээр бат бөх, эрчим хүчний хэмнэлттэй, найдвартай криоген дамжуулах тохиргоог танд олгоно. Эдгээр системүүд нь шингэн азотын алдагдлыг бууруулснаар үйл ажиллагааны зардлыг бууруулж, конденсацийг гаднаас хол байлгаснаар аюулгүй байдлыг сайжруулж, даралт ихтэй үед ч тогтвортой ажиллагааг хангадаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 11-р сарын 19
