Чипний үйлдвэрлэлийн криоген хэрэглээнд вакуум тусгаарлагчтай хоолойн системийн товч мэдээлэл

Шингэн азотыг дамжуулах зориулалттай вакуум тусгаарлагч хоолойн системийг үйлдвэрлэх, зохион бүтээх ажлыг ханган нийлүүлэгч хариуцна. Энэ төслийн хувьд нийлүүлэгч нь газар дээр нь хэмжилт хийх нөхцөлгүй бол дамжуулах хоолойн чиглэлийн зургийг байшингаас гаргаж өгөх шаардлагатай. Дараа нь ханган нийлүүлэгч нь шингэн азотын хувилбарт зориулж VI хоолойн системийг зохион бүтээнэ.

Нийлүүлэгч нь зураг төсөл, тоног төхөөрөмжийн параметрүүд, талбайн нөхцөл, шингэн азотын шинж чанар, эрэлт хэрэгцээний бусад хүчин зүйлсийн дагуу дамжуулах хоолойн системийн ерөнхий загварыг туршлагатай дизайнеруудаар гүйцэтгэнэ.

Загварын агуулгад системийн дагалдах хэрэгслийн төрөл, дотоод болон гадаад хоолойн материал, техникийн үзүүлэлтүүдийг тодорхойлох, тусгаарлагчийн схемийн загвар, угсармал хэсгийн схем, хоолойн хэсгүүдийн хоорондох холболтын хэлбэр, дотоод хоолойн хаалт зэрэг орно. , вакуум хавхлагын тоо, байрлал, хийн битүүмжлэлийг арилгах, терминалын төхөөрөмжийн криоген шингэний шаардлага гэх мэт. Энэ схемийг үйлдвэрлэхээс өмнө эрэлт хэрэгцээний мэргэжлийн боловсон хүчин шалгаж байх ёстой.

Вакуум дулаалгатай хоолойн системийн дизайны агуулга нь өргөн хүрээтэй бөгөөд эндээс HASS програмууд болон зарим нийтлэг асуудалд MBE тоног төхөөрөмж, энгийн чат.

1 2

VI Дамжуулах хоолой

Шингэн азотыг хадгалах сав нь ихэвчлэн HASS Application эсвэл MBE төхөөрөмжөөс урт байдаг. Вакуум дулаалгатай хоолой нь барилгын дотор дотогш нэвтэрч байгаа ч барилгын өрөөний зохион байгуулалт, талбайн хоолой, агаарын сувгийн байршлын дагуу үүнээс зайлсхийх хэрэгтэй. Тиймээс шингэн азотыг тоног төхөөрөмжид зөөвөрлөх, наад зах нь хэдэн зуун метр хоолой.

Шахсан шингэн азот нь өөрөө их хэмжээний хий агуулж байдаг тул тээвэрлэх зайтай хамт вакуум адиабат хоолой хүртэл тээвэрлэлтийн явцад их хэмжээний азот үүсгэдэг. Хэрэв азотыг гадагшлуулахгүй эсвэл ялгарах хэмжээ нь шаардлагад нийцэхгүй байвал хийн эсэргүүцлийг үүсгэж, шингэн азотын урсац муудаж, улмаар урсгалын хурд их хэмжээгээр буурна.

Хэрэв урсгалын хурд хангалтгүй бол төхөөрөмжийн шингэн азотын камер дахь температурыг хянах боломжгүй бөгөөд энэ нь эцэст нь тоног төхөөрөмж эсвэл бүтээгдэхүүний чанарт гэмтэл учруулж болзошгүй юм.

Тиймээс терминалын төхөөрөмж (HASS Application эсвэл MBE төхөөрөмж) ашигладаг шингэн азотын хэмжээг тооцоолох шаардлагатай. Үүний зэрэгцээ дамжуулах хоолойн техникийн үзүүлэлтүүдийг дамжуулах хоолойн урт, чиглэлийн дагуу тодорхойлно.

Шингэн азотын агуулах савнаас эхлэн вакуум тусгаарлагчтай хоолой/хоолойн гол шугам хоолой нь DN50 (дотоод диаметр нь φ50 мм), түүний салаа VI хоолой/хоолой нь DN25 (дотоод диаметр нь φ25 мм), салаа хоолой ба хоолойн хоорондох хоолой. терминалын төхөөрөмж нь DN15 (дотоод диаметр нь φ15 мм). VI шугам хоолойн системийн бусад холбох хэрэгсэл, үүнд фазын салгагч, хий арилгагч, хийн автомат агааржуулалт, VI/криоген (хийн) унтрах хавхлага, VI хийн урсгалыг зохицуулах хавхлага, VI/криоген шалгах хавхлага, VI шүүлтүүр, аюулгүйн хамгаалалтын хавхлага, цэвэрлэх систем, ба вакуум насос гэх мэт.

3

MBE тусгай фазын тусгаарлагч

MBE-ийн тусгай хэвийн даралтын фазын тусгаарлагч бүр дараах үүрэгтэй.

1. Шингэний түвшний мэдрэгч ба шингэний түвшний автомат хяналтын систем, цахилгаан хяналтын хайрцгаар нэн даруй харуулна.

2. Даралт бууруулах функц: сепараторын шингэний оролт нь сепараторын туслах системээр тоноглогдсон бөгөөд энэ нь үндсэн хоолойд 3-4 бар шингэн азотын даралтыг баталгаажуулдаг. Фаз тусгаарлагч руу орохдоо даралтыг ≤ 1Bar хүртэл тогтмол бууруулна.

3. Шингэний оролтын урсгалын зохицуулалт: Фазын тусгаарлагчийн дотор хөвөх хүчний хяналтын систем суурилуулсан. Үүний үүрэг нь шингэн азотын хэрэглээ нэмэгдэх эсвэл буурах үед шингэний хэрэглээний хэмжээг автоматаар тохируулах явдал юм. Энэ нь оролтын пневматик хавхлагыг онгойлгох үед их хэмжээний шингэн азот орж ирэх даралтын огцом хэлбэлзлийг бууруулж, хэт даралтаас сэргийлэх давуу талтай.

4. Буферийн функц, тусгаарлагчийн доторх үр дүнтэй эзэлхүүн нь төхөөрөмжийн хамгийн их агшин зуурын урсгалыг баталгаажуулдаг.

5. Цэвэрлэх систем: шингэн азотын дамжуулалтын өмнө тусгаарлагч дахь агаарын урсгал ба усны уур, шингэн азотын дамжуулалтын дараа тусгаарлагч дахь шингэн азотыг гадагшлуулах.

6. Хэт даралтыг автоматаар бууруулах функц: Төхөөрөмж нь анх шингэн азотоор дамжин өнгөрөх эсвэл онцгой нөхцөлд шингэн азотын хийжилтийг нэмэгдүүлж, улмаар бүхэл системийн хэт даралтыг агшин зуурт хүргэдэг. Манай фазын тусгаарлагч нь хамгаалалтын хавхлага ба хамгаалалтын хавхлагын бүлгээр тоноглогдсон бөгөөд энэ нь тусгаарлагч дахь даралтын тогтвортой байдлыг илүү үр дүнтэй хангаж, MBE төхөөрөмжийг хэт даралтаас болж гэмтэхээс сэргийлдэг.

7. Цахилгаан хяналтын хайрцаг, шингэний түвшин, даралтын утгыг бодит цаг хугацаанд харуулах, тусгаарлагч болон шингэн азот дахь шингэний түвшинг хяналтын харьцааны хэмжээгээр тохируулах боломжтой. Үүний зэрэгцээ. Яаралтай тохиолдолд хийн шингэн тусгаарлагчийг шингэний хяналтын хавхлага руу гараар тоормослох нь сайтын ажилтнууд болон тоног төхөөрөмжийн аюулгүй байдалд баталгаа өгөх болно.

4

HASS програмуудад зориулсан олон цөмт хий арилгагч

Гадна шингэн азот хадгалах сав нь даралтын дор хадгалагдаж, тээвэрлэгддэг тул их хэмжээний азот агуулдаг. Энэ системд дамжуулах хоолойн тээвэрлэлтийн зай урт, илүү тохой, илүү их эсэргүүцэлтэй байдаг нь шингэн азотыг хэсэгчлэн хийжүүлэхэд хүргэдэг. Вакуум дулаалгатай хоолой нь шингэн азотыг тээвэрлэх хамгийн сайн арга боловч дулаан алдагдахаас зайлсхийх боломжгүй бөгөөд энэ нь шингэн азотыг хэсэгчлэн хийжүүлэхэд хүргэдэг. Дүгнэж хэлэхэд шингэн азот нь их хэмжээний азот агуулдаг бөгөөд энэ нь хийн эсэргүүцлийг бий болгодог тул шингэн азотын урсгал жигд бус байдаг.

Вакуум дулаалгатай хоолой дээрх яндангийн төхөөрөмж, хэрэв яндангийн төхөөрөмж байхгүй эсвэл яндангийн эзэлхүүн хангалтгүй бол хийн эсэргүүцлийг бий болгоно. Хийн эсэргүүцэл үүссэний дараа шингэн азотын дамжуулах чадвар ихээхэн буурна.

Манай компанийн тусгайлан бүтээсэн олон цөмт хий арилгагч нь үндсэн шингэн азотын хоолойноос ялгарах азотыг дээд зэргээр хангаж, хийн эсэргүүцэл үүсэхээс сэргийлнэ. Олон цөмт хий арилгагч нь хангалттай дотоод эзэлхүүнтэй, буфер хадгалах савны үүрэг гүйцэтгэж, уусмал дамжуулах хоолойн агшин зуурын хамгийн их урсгалын хэрэгцээг үр дүнтэй хангаж чаддаг.

Өвөрмөц патентлагдсан олон цөмт бүтэц, манай бусад төрлийн тусгаарлагчаас илүү үр ашигтай яндангийн хүчин чадал.

5
Өмнөх нийтлэлийг үргэлжлүүлэхийн тулд чипний үйлдвэрт криоген хэрэглээнд зориулж вакуум дулаалгатай хоолойн системийн шийдлийг боловсруулахад анхаарах ёстой зарим асуудлууд байдаг.

1

Хоёр төрлийн вакуум тусгаарлагчтай хоолойн систем

Вакуум тусгаарлагчтай хоолойн систем нь статик VI систем ба динамик вакуум насосны систем гэсэн хоёр төрөлтэй.

Статик VI систем гэдэг нь хоолой бүрийг үйлдвэрт хийж дууссаны дараа шахуургын төхөөрөмж дээр тогтоосон вакуум зэрэгт соруулж, битүүмжлэхийг хэлнэ. Талбайд суурилуулж, ашиглалтад оруулахдаа тодорхой хугацаанд талбай руу дахин нүүлгэн шилжүүлэх шаардлагагүй болно.

Статик VI системийн давуу тал нь засвар үйлчилгээний зардал багатай байдаг. Хоолойн системийг ашиглалтад оруулсны дараа хэдэн жилийн дараа засвар үйлчилгээ хийх шаардлагатай болдог. Энэхүү вакуум систем нь хөргөлтийн өндөр шаардлага шаарддаггүй систем, газар дээр нь засвар үйлчилгээ хийх нээлттэй газруудад тохиромжтой.

Статик VI системийн сул тал нь цаг хугацаа өнгөрөх тусам вакуум багасдаг явдал юм. Учир нь бүх материал нь тухайн материалын физик шинж чанараар тодорхойлогддог ул мөрийн хий ялгаруулдаг. VI Pipe-ийн хүрэм дэх материал нь процессоос ялгарах хийн хэмжээг багасгах боломжтой боловч бүрэн тусгаарлах боломжгүй юм. Энэ нь битүүмжилсэн вакуум орчны вакуумд хүргэж, бага, доогуур байх болно, вакуум тусгаарлагч хоолой нь аажмаар хөргөх чадварыг сулруулна.

Динамик вакуум шахах систем гэдэг нь хоолойг хийж, бүрдүүлсний дараа алдагдлыг илрүүлэх процессын дагуу хоолойг үйлдвэрт нүүлгэн шилжүүлсэн хэвээр байгаа боловч хүргэхээс өмнө вакуумыг битүүмжлэхгүй байхыг хэлнэ. Талбайн угсралтын ажил дууссаны дараа бүх хоолойн вакуум хоорондын давхаргыг зэвэрдэггүй ган хоолойгоор нэг буюу хэд хэдэн нэгжид холбож, жижиг зориулалтын вакуум насосыг талбайн хоолойг соруулж авна. Тусгай вакуум насос нь вакуумыг хүссэн үедээ хянах автомат системтэй бөгөөд шаардлагатай бол вакуум соруулдаг. Систем 24 цагийн турш ажилладаг.

Динамик вакуум шахуургын системийн сул тал нь вакуумыг цахилгаанаар хангах шаардлагатай байдаг.

Динамик вакуум шахах системийн давуу тал нь вакуум зэрэг нь маш тогтвортой байдаг. Энэ нь маш өндөр төслүүдийн дотоод орчин, вакуум гүйцэтгэлийн шаардлагад илүү тохиромжтой.

Манай динамик вакуум шахуургын систем, бүхэл бүтэн хөдөлгөөнт нэгдсэн тусгай вакуум насос нь тоног төхөөрөмжийг вакуумжуулах, вакуумын үр нөлөөг хангахад тохиромжтой, боломжийн зохион байгуулалт, вакуум дагалдах хэрэгслийн чанарыг баталгаажуулах.

MBE төслийн хувьд тоног төхөөрөмж нь цэвэрхэн өрөөнд байгаа, тоног төхөөрөмж нь удаан хугацаанд ажиллаж байгаа тул. Вакуум дулаалгатай хоолойн системийн ихэнх хэсэг нь цэвэрхэн өрөөний завсрын давхарга дээрх хаалттай орон зайд байдаг. Цаашид хоолойн системийн вакуум засвар үйлчилгээг хэрэгжүүлэх боломжгүй юм. Энэ нь системийн урт хугацааны үйл ажиллагаанд ноцтой нөлөөлнө. Үүний үр дүнд MBE төсөл нь бараг бүх динамик вакуум насосны системийг ашигладаг.

2

Даралт бууруулах систем

Гол шугамын даралтыг бууруулах систем нь аюулгүй байдлын хавхлагын бүлгийг ашигладаг. Safety Relief Valve Group нь хэт даралт, VI хоолойг хэвийн ашиглалтын үед тохируулах боломжгүй үед аюулгүй байдлын хамгаалалтын систем болгон ашигладаг.

Аюулгүй байдлын хавхлага нь дамжуулах хоолойн системд хэт даралт, аюулгүй ажиллагааг хангах гол бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд дамжуулах хоолойн ашиглалтад зайлшгүй шаардлагатай. Гэхдээ журмын дагуу аюулгүйн хавхлагыг жил бүр шалгаж байх ёстой. Нэг аюулгүйн хавхлагыг ашиглаж, нөгөөг нь бэлтгэх үед нэг хамгаалалтын хавхлагыг салгахад нөгөө аюулгүйн хавхлага нь дамжуулах хоолойн хэвийн ажиллагааг хангахын тулд дамжуулах хоолойн системд хэвээр байна.

Хамгаалалтын хавхлагын бүлэгт нэг нь ашиглах, нөгөө нь зогсолтод зориулагдсан хоёр DN15 хамгаалалтын хавхлагыг агуулдаг. Хэвийн горимд зөвхөн нэг Аюулгүйн Хамгаалах хавхлага нь VI хоолойн системд холбогдсон бөгөөд хэвийн ажилладаг. Бусад хамгаалалтын хавхлагууд нь дотоод хоолойноос салгагдсан тул хүссэн үедээ сольж болно. Хажуугийн хавхлага солих төлөвөөр дамжуулан хоёр аюулгүйн хавхлагыг холбож, таслав.

Хамгаалалтын хавхлагын бүлэг нь хоолойн системийн даралтыг хүссэн үедээ шалгах даралт хэмжигчээр тоноглогдсон.

Хамгаалалтын хавхлагын бүлэг нь гадагшлуулах хавхлагаар хангагдсан. Цэвэрлэх үед хоолой дахь агаарыг гадагшлуулах, шингэн азотын систем ажиллаж байх үед азотыг гадагшлуулах боломжтой.

дав

HL криоген төхөөрөмж

1992 онд байгуулагдсан HL Cryogenic Equipment нь БНХАУ-ын Chengdu Holy Cryogenic Equipment компанийн харьяа брэнд юм. HL Cryogenic Equipment нь өндөр вакуум тусгаарлагчтай криоген хоолойн систем болон холбогдох туслах төхөөрөмжийг зохион бүтээх, үйлдвэрлэх үүрэгтэй.

Өнөөгийн хурдацтай өөрчлөгдөж буй ертөнцөд дэвшилтэт технологиор хангахын зэрэгцээ үйлчлүүлэгчдэд зардлын хэмнэлтийг нэмэгдүүлэх нь хэцүү ажил юм. 30 жилийн турш бараг бүх криоген төхөөрөмж, үйлдвэрлэлийн салбарт HL криоген тоног төхөөрөмж компани нь хэрэглээний талбарт илүү гүнзгий нэвтэрч, баялаг туршлага хуримтлуулж, найдвартай бөгөөд амьдралын бүхий л салбар дахь хамгийн сүүлийн үеийн дэвшилтүүдийг тасралтгүй судалж, дагаж мөрдөхийг хичээж, үйлчлүүлэгчдэдээ ... шинэ, практик, үр ашигтай шийдлүүд нь манай үйлчлүүлэгчдийг зах зээлд илүү өрсөлдөх чадвартай болгоно.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Шуудангийн цаг: 2021 оны 8-р сарын 25-ны хооронд

Та мессежээ үлдээнэ үү